無錫半導(dǎo)體展：匯專全新升級超聲機(jī)床實(shí)現(xiàn)CVD碳化硅噴淋盤加工新突破
9月4-6日，匯專將攜兩款全新機(jī)型——超聲綠色雕銑加工中心UEM-600 PLUS、超聲雙主軸立式加工中心 UDV-550重磅亮相第十三屆半導(dǎo)體設(shè)備與核心部件及材料展（CSEAC 2025），展示半導(dǎo)體行業(yè)超聲高效加工解決方案，誠邀您蒞臨B3-339展位參觀交流！
CSEAC 2025以“做強(qiáng)中國芯，擁抱芯世界”為主題，展館面積超60,000㎡，參展企業(yè)逾1,100家，涵蓋晶圓制造設(shè)備、封測設(shè)備、核心部件、材料等五大主題展區(qū)，將橫跨七個(gè)展館，全方位呈現(xiàn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的技術(shù)革新與生態(tài)活力。
一、匯專展位為何不容錯(cuò)過？
● 兩款全新機(jī)型展會(huì)首秀：匯專將推出全新機(jī)型超聲綠色雕銑加工中心UEM-600 PLUS、超聲雙主軸立式加工中心 UDV-550，助力半導(dǎo)體行業(yè)客戶解鎖精密制造新篇章。
● 豐富零部件產(chǎn)品陣容：集中展示超聲刀柄、超硬刀具、冷壓刀柄、冷壓機(jī)、精密轉(zhuǎn)臺(tái)，全面覆蓋高效精密加工需求。
● 沉浸式實(shí)操體驗(yàn)：在超聲振幅測量與超聲振動(dòng)體驗(yàn)區(qū)、微孔放大觀察區(qū)，觀眾不僅能親身體驗(yàn)匯專超聲設(shè)備，還能通過顯微鏡觀察整體PCD刀具加工后的工件微小孔表面質(zhì)量情況。
● 幸運(yùn)抽獎(jiǎng)活動(dòng)：打卡匯專展位，參與幸運(yùn)大轉(zhuǎn)盤、歡樂投一骰活動(dòng)，還有機(jī)會(huì)贏取超高清投影儀、便攜茶具套裝、大容量充電寶等豐厚禮品！
二、機(jī)床新品速遞
（1）超聲綠色雕銑加工中心UEM-600 PLUS
產(chǎn)品亮點(diǎn)：
●超聲電主軸最高轉(zhuǎn)速40,000rpm
●全行程定位精度≤2.5μm，重復(fù)定位精度≤1.8μm
●Z軸采用直線電機(jī)，有效提升加工效率和刀具壽命
●配備刀具監(jiān)控系統(tǒng)，可監(jiān)測小刀具在加工過程中的磨損和斷刀情況
●光柵尺全閉環(huán)控制
●迷宮結(jié)構(gòu)，三層防護(hù)
（2）超聲雙主軸立式加工中心UDV-550
產(chǎn)品亮點(diǎn)：
●配置雙超聲主軸，獨(dú)立控制，一次裝夾實(shí)現(xiàn)雙零件同步加工
●大扭矩伺服電機(jī)，具備高精度與高動(dòng)態(tài)響應(yīng)性
●導(dǎo)軌絲杠防護(hù)鈑金采用迷宮設(shè)計(jì)，多層防護(hù)
●采用滾柱導(dǎo)軌，剛性高
三、匯專方案突破傳統(tǒng)加工桎梏
CVD（化學(xué)氣相沉積）碳化硅材料因其具有出色的熱、電和化學(xué)性質(zhì)的獨(dú)特組合，被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備零部件加工。然而，CVD碳化硅材料屬于難加工的硬脆材料，在傳統(tǒng)加工過程中易產(chǎn)生崩缺現(xiàn)象，并且刀具壽命短，刀具容易折斷并殘留在孔內(nèi)，導(dǎo)致工件報(bào)廢。
噴淋盤是芯片制造設(shè)備刻蝕機(jī)的核心部件之一。在 CVD碳化硅噴淋盤的加工中，D1.0/D0.5mm階梯孔的加工任務(wù)更是極具挑戰(zhàn)性，其工件硬度高達(dá)HV3,150，加工孔徑小，鉆削加工難度大，對加工精度和穩(wěn)定性要求極高。目前，高精度碳化硅噴淋盤仍需要依賴國外進(jìn)口，加工周期漫長、成本居高不下。
材料：CVD碳化硅（HV3,150）
加工特征：D1.0*5.8mm / D0.5*5.4mm階梯孔
對此，匯專憑借在高端超聲綠色數(shù)控機(jī)床及關(guān)鍵部件的研制經(jīng)驗(yàn)，推出了針對性的半導(dǎo)體行業(yè)超聲高效加工解決方案。采用匯專超聲綠色雕銑加工中心UEM-600 PLUS，搭配自主研發(fā)的超聲振幅測量儀、超聲冷壓刀柄及高效飛速PCD鉆頭進(jìn)行加工，單孔加工時(shí)間從11分25秒縮短至5分58秒，加工效率提升47.8%，刀具壽命提升160%，加工成本降低50%，顯微鏡放大至50倍檢測，孔口崩邊量≤0.02mm。
除了在CVD碳化硅噴淋盤加工上實(shí)現(xiàn)創(chuàng)新突破，該系列加工中心搭配匯專超聲加工技術(shù)和整體PCD刀具的解決方案，在硬脆材料、金屬材料、工程塑料等超深微孔及高精度質(zhì)量加工中具有明顯優(yōu)勢，成功加工了單晶硅曲面電極、多晶硅柵極環(huán)、石英玻璃噴淋盤、石英輕量化反射鏡鏡片、藍(lán)寶石工件、不銹鋼工件、工程塑料探針卡等半導(dǎo)體零件，有效提升加工效率，改善工件表面質(zhì)量，實(shí)現(xiàn)連續(xù)穩(wěn)定加工。
欲了解更多創(chuàng)新產(chǎn)品及解決方案，9月4-6日，敬請蒞臨無錫太湖國際博覽中心B3-339匯專展位。
