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在 2025 灣區(qū)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)生態(tài)博覽會(huì)上，蘇州新施諾半導(dǎo)體設(shè)備有限公司攜自主研發(fā)的 AMHS（自動(dòng)化物料搬運(yùn)系統(tǒng)）核心裝備 ——OHT（天車系統(tǒng)）實(shí)機(jī)亮相，憑借卓越性能與國(guó)產(chǎn)替代貢獻(xiàn)斬獲 “2025‘灣芯獎(jiǎng)’之卓越企業(yè)獎(jiǎng)”。這一亮相不僅彰顯了中國(guó)企業(yè)在半導(dǎo)體智能物流領(lǐng)域的技術(shù)突破，更標(biāo)志著晶圓廠 “空中高速公路” 的自主化建設(shè)邁入關(guān)鍵階段。在 AI 算力與先進(jìn)封裝之外，AMHS 正成為半導(dǎo)體制造智能化的核心賽道，承載著物料流轉(zhuǎn)與數(shù)據(jù)傳輸?shù)碾p重使命，為 AI 驅(qū)動(dòng)的良率優(yōu)化筑牢數(shù)據(jù)根基。

AMHS：12 英寸（吋）晶圓廠的 “神經(jīng)中樞”

在12 英寸晶圓成為行業(yè)主流的當(dāng)下，物流系統(tǒng)的效率與穩(wěn)定性已成為制約良率和產(chǎn)能的關(guān)鍵因素。在半導(dǎo)體制造的數(shù)千道工序中，單片晶圓單次生產(chǎn)周期的流轉(zhuǎn)距離超 20 公里，需在數(shù)百臺(tái)設(shè)備間完成上千次搬送。一座 12 英寸晶圓廠的 OHT 軌道總長(zhǎng)可達(dá)數(shù)十公里，每日搬運(yùn)任務(wù)高達(dá)幾十萬(wàn)次，其復(fù)雜程度堪比中等城市的立體交通網(wǎng)絡(luò)。

圖：新施諾天車系統(tǒng)

更為嚴(yán)苛的是，極限工藝下的 AMHS 系統(tǒng)需達(dá)到 “五個(gè)九” 的極致穩(wěn)定性（可用性 99.999%），任何短暫停機(jī)都可能導(dǎo)致整條產(chǎn)線停擺，造成數(shù)百萬(wàn)至上千萬(wàn)的經(jīng)濟(jì)損失。OHT 系統(tǒng)因此被譽(yù)為晶圓廠的 “神經(jīng)中樞”，不僅要完成物料精準(zhǔn)搬運(yùn)，更需維護(hù)潔凈環(huán)境、保障生產(chǎn)連續(xù)性，并搭建產(chǎn)能調(diào)度的數(shù)據(jù)橋梁，成為半導(dǎo)體制造不可或缺的核心基礎(chǔ)設(shè)施。

技術(shù)破局：新施諾的國(guó)產(chǎn)化實(shí)踐與核心優(yōu)勢(shì)

長(zhǎng)期以來(lái)，高端 AMHS 市場(chǎng)被日韓廠商壟斷，國(guó)內(nèi)企業(yè)多局限于配套環(huán)節(jié)。2020 年后，受國(guó)際技術(shù)封鎖與供應(yīng)鏈風(fēng)險(xiǎn)影響，AMHS 國(guó)產(chǎn)化上升至戰(zhàn)略高度。新施諾應(yīng)運(yùn)而生，由新松機(jī)器人、中芯聚源等產(chǎn)業(yè)投資方聯(lián)合發(fā)起，依托全資子公司韓國(guó) SynusTech 四十余年的 AMHS 工程經(jīng)驗(yàn)，在短短兩年內(nèi)完成了從樣機(jī)驗(yàn)證到大規(guī)模部署的跨越式發(fā)展。

在硬件性能上，新施諾的 OHT 小車已達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平：直線最高速度 5.3m/s，轉(zhuǎn)彎速度 1.0m/s，加速度與減速度分別達(dá) 2m/s2 和 3m/s2；標(biāo)準(zhǔn)負(fù)載 15kg，可定制最大負(fù)載 50kg，兼容多種規(guī)格載具；重復(fù)定位精度 ±1mm，確保與工藝設(shè)備端口精準(zhǔn)對(duì)接；平均無(wú)故障時(shí)間（MTBF）超 2000 小時(shí)，系統(tǒng)可用性達(dá) 99.999%，能在 Class 10 超高潔凈環(huán)境中穩(wěn)定運(yùn)行。其平均無(wú)故障搬運(yùn)次數(shù)（MCBF）已實(shí)現(xiàn)≥12 萬(wàn)次，振動(dòng)幅度控制在≤0.5g 范圍內(nèi)，滿足晶圓制造的嚴(yán)苛要求。

軟件層面，新施諾構(gòu)建了完整的自主研發(fā)體系，包括負(fù)責(zé)物料流調(diào)度的 MCS（物料控制系統(tǒng)）、實(shí)現(xiàn)天車實(shí)時(shí)控制的 TCS（傳輸控制系統(tǒng)）、管理單車運(yùn)行的 VCS（車輛控制系統(tǒng)），以及構(gòu)建 3D 虛擬工廠的 DTS（數(shù)字孿生系統(tǒng)）。這套軟件堆棧采用 Linux + 自研控制器架構(gòu)，可兼容晶圓廠 MES 系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn) “軟硬一體” 管控。其中 MCS 系統(tǒng)日均能處理 70 萬(wàn) + 搬運(yùn)指令，支持千臺(tái)天車協(xié)同調(diào)度，兼容主流協(xié)議并可在線升級(jí)，在大規(guī)模制造環(huán)境下的調(diào)度效率與穩(wěn)定性達(dá)到行業(yè)領(lǐng)先水平。數(shù)字孿生技術(shù)的應(yīng)用則實(shí)現(xiàn)了物流系統(tǒng)的仿真模擬、預(yù)測(cè)性維護(hù)與能耗優(yōu)化，助力晶圓廠實(shí)現(xiàn)智能化運(yùn)維轉(zhuǎn)型。

國(guó)產(chǎn)化痛點(diǎn)與新施諾的破局之道

盡管市場(chǎng)前景廣闊，AMHS 國(guó)產(chǎn)化仍面臨三重核心痛點(diǎn)。其一，系統(tǒng)穩(wěn)定性要求極高，是普通工業(yè)品的 10 倍以上，需長(zhǎng)期的測(cè)試驗(yàn)證與現(xiàn)場(chǎng)數(shù)據(jù)積累，無(wú)法快速速成，核心技術(shù)細(xì)節(jié)與經(jīng)驗(yàn)積累構(gòu)成了關(guān)鍵壁壘。其二，供應(yīng)鏈安全與良率平衡的矛盾突出，零部件國(guó)產(chǎn)化替換的風(fēng)險(xiǎn)呈指數(shù)級(jí)疊加，可能導(dǎo)致整廠宕機(jī)，需在 “純國(guó)產(chǎn)化” 與 “國(guó)產(chǎn)可控” 間尋找平衡。其三，復(fù)合型人才匱乏，行業(yè)亟需兼具 Fab 背景與機(jī)器人技術(shù)的專業(yè)人才。

針對(duì)這些挑戰(zhàn)，新施諾采取了務(wù)實(shí)有效的應(yīng)對(duì)策略。在技術(shù)積累上，依托海外團(tuán)隊(duì)四十年經(jīng)驗(yàn)加速產(chǎn)品可靠性迭代，通過(guò) “產(chǎn)品定義 + 底層設(shè)計(jì)” 雙線組建團(tuán)隊(duì)，實(shí)現(xiàn)人才互補(bǔ)。在供應(yīng)鏈方面，推行 “分步替換、充分測(cè)試、驗(yàn)證通過(guò)” 的漸進(jìn)策略，平衡國(guó)產(chǎn)化節(jié)奏與系統(tǒng)良率。在服務(wù)保障上，公司在長(zhǎng)三角、環(huán)渤海、珠三角等晶圓制造集中區(qū)設(shè)立服務(wù)中心，實(shí)現(xiàn) “1 小時(shí)響應(yīng)、7×24 小時(shí)維護(hù)”，滿足客戶對(duì)響應(yīng)時(shí)效的嚴(yán)苛要求。

截至目前，新施諾已服務(wù)多家國(guó)內(nèi) 8 英寸與 12 英寸晶圓廠，涵蓋晶圓制造、封測(cè)、硅片等多個(gè)領(lǐng)域，累計(jì)交付 OHT 系統(tǒng)超 200 套，軌道總長(zhǎng)超 9000 米，于 2025 年 2 月獲得晶圓廠量產(chǎn)訂單，訂單金額突破 3 億元。這些部署案例不僅驗(yàn)證了技術(shù)成熟度，更為國(guó)產(chǎn) AMHS 積累了寶貴的工程經(jīng)驗(yàn)與數(shù)據(jù)模型。

市場(chǎng)機(jī)遇與未來(lái)發(fā)展藍(lán)圖

根據(jù) SEMI 統(tǒng)計(jì)，2024 年全球新建晶圓廠中 42% 位于中國(guó)大陸，預(yù)計(jì) 2025 年中國(guó)晶圓產(chǎn)能占全球比重將從 19% 升至 24%，超越韓國(guó)。當(dāng)前中國(guó)大陸 AMHS 市場(chǎng)國(guó)產(chǎn)化率不足 30%，2025 年市場(chǎng)規(guī)模預(yù)計(jì)將達(dá) 200 億元人民幣，新建廠房的全自動(dòng)系統(tǒng)導(dǎo)入與老廠房改造升級(jí)需求迫切，為本土廠商提供了歷史性增長(zhǎng)窗口。

新施諾制定了清晰的 “三階段演進(jìn)” 路線圖：2023–2024 年完成 OHT 1.5 代國(guó)產(chǎn)化落地與軟件系統(tǒng)開(kāi)發(fā)；2025–2026 年推出 New-OHT 與 New-STK 系列，實(shí)現(xiàn)全面自主控制；2027 年實(shí)現(xiàn) New-AMHS 2.0 系統(tǒng)量產(chǎn)，達(dá)到世界級(jí)性能指標(biāo)。同時(shí)，公司計(jì)劃通過(guò) “橫向并購(gòu) + 縱向整合” 雙輪策略加速擴(kuò)張：橫向上拓展 AMHS 在新能源、面板等行業(yè)的應(yīng)用；縱向上收購(gòu) CIM/MES 軟件企業(yè)與 OHT 零部件公司，構(gòu)建完整智能制造生態(tài)鏈。

技術(shù)迭代方面，新施諾正推進(jìn)新一代天車系統(tǒng)研發(fā)，聚焦車體輕量化、內(nèi)部布線拓?fù)鋬?yōu)化、電路板布局升級(jí)等方向，重點(diǎn)解決電磁干擾抑制難題，進(jìn)一步提升設(shè)備長(zhǎng)期運(yùn)行的穩(wěn)定性與可維護(hù)性。依托 “設(shè)備 + 資本 + 客戶” 的深度合作結(jié)構(gòu)，新施諾正朝著國(guó)內(nèi) AMHS 領(lǐng)域核心供應(yīng)商與行業(yè)引領(lǐng)者的目標(biāo)邁進(jìn)。

自主可控：半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)安全的 “護(hù)城河”

AMHS 國(guó)產(chǎn)化的意義遠(yuǎn)超單一裝備替代，它標(biāo)志著中國(guó)在晶圓制造系統(tǒng)層面的自主化邁出關(guān)鍵一步。OHT 系統(tǒng)作為物料流動(dòng)的控制核心與生產(chǎn)數(shù)據(jù)的采集入口，若長(zhǎng)期依賴進(jìn)口，不僅會(huì)面臨維護(hù)升級(jí)受限的風(fēng)險(xiǎn)，更可能造成生產(chǎn)數(shù)據(jù)的外部依賴與安全隱患。在數(shù)字孿生、預(yù)測(cè)性維護(hù)、AI 排程算法全面滲透的趨勢(shì)下，未來(lái)晶圓廠將向自適應(yīng)工廠演進(jìn)，AMHS 系統(tǒng)的數(shù)據(jù)閉環(huán)直接影響良率提升、能耗控制與運(yùn)營(yíng)效率。

從產(chǎn)業(yè)全局來(lái)看，國(guó)產(chǎn) AMHS 的自主可控不僅是保障半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈安全的 “護(hù)城河”，更是中國(guó)邁向智能制造的 “起跑線”。新施諾等企業(yè)的技術(shù)突破與產(chǎn)業(yè)化實(shí)踐，正為中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展注入強(qiáng)勁動(dòng)力，推動(dòng) “中國(guó)制造” 向 “中國(guó)智造” 加速轉(zhuǎn)型。在全球半導(dǎo)體競(jìng)爭(zhēng)格局重塑的當(dāng)下，國(guó)產(chǎn) AMHS 的突圍之路，終將成為中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)自主化征程中的重要篇章。